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真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气,从而获得真空的器件或设备。随着真空泵应用的发展,真空泵的种类已经发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万。
1、粗真空:10⁵~10³Pa;
2、低真空:10³~10⁻¹Pa;
3、高真空:10⁻¹~10⁻⁶Pa;
4、超高真空:10⁻⁶~10⁻¹⁰Pa
5、极高真空:<10⁻¹⁰Pa
1、按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即变容真空泵和动量传输泵;
2、变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。变容真空泵主要有往复式真空泵、旋转式真空泵(旋片式、滑阀式、液环式、负压罗茨风机、螺旋式真空泵、爪形转子式)等型式。
3、动量传输泵(分子真空泵)依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
目前,国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型:字母前的数字表示泵的级数,单级时”1“省略;字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S)
1、往复式真空泵(W);
2、移动阀式往复泵(WY);
3、立式往复泵(WL);
4、水环式真空泵(SZ)
5、悬臂式结构水环泵(SZB)
6、直联式水环泵(SZZ)
7、滑阀式真空泵(H)
8、余摆线真空泵(YZ);
9、罗茨真空泵(ZJ)
10、旋片式真空泵(X)
11、分子真空泵(F)
12、直联式选片泵(SZ)
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