罗茨真空泵的优缺点(罗茨真空泵和螺杆真空泵的优缺点)

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罗茨真空泵的优缺点

罗茨真空泵的优缺点

罗茨空泵选型中应注意的问题:

1.罗茨True 空泵的工作压力应满足极限true 空和true 空设备的工作压力要求。如:true 空镀膜要求1 times10-5mmHg的真空度，罗茨真空泵的真空度至少要5 倍；10-6毫米汞柱.通常所选泵的真空度比真空器件高半到一个数量级。

2.罗茨泵工作点的正确选择。每个泵都有一定的工作压力范围，如扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定工作压力范围为5×104；10-4 ~ 5 次；10-6毫米汞柱.所以泵的工作点要选在这个范围内，不能长时间在10-8mmHg下工作。再比如钛升华泵可以工作在10-2mmHg，但工作压力要小于1×104；10-5mmHg为佳。

3.罗茨Zhen 空泵应能在其工作压力下排出Zhen 空设备过程中产生的所有气体。

4.正确组合罗茨振空泵。由于Roots Zhen 空泵有选择地抽空气，有时一个泵不能满足抽空气的要求，需要几个泵组合起来，互相补充，才能满足缺氧的要求。有些罗茨真空泵不能在大气压下工作，需要提前真空；有些罗茨-Zhen空泵的出口压力低于大气压，因此需要前级泵。所有的泵都需要组合使用。

5.real 空设备的油污要求。如果严格要求无油设备，应选用各种无油泵，如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，配合一些防油污措施，也能满足清洁度空的要求。

6.了解泵送气体的成分，气体中是否含有可凝蒸汽、颗粒粉尘、腐蚀性等。在选择罗茨True 空泵时，需要了解气体成分，为泵送的气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体，应考虑安装铺路设备，如冷凝器、除尘器等。，在泵的入口管道上。

7.罗茨振空泵排出的油气对环境有什么影响？如果不允许污染环境，可以选择无油罗茨振空泵，或者将油蒸气排出室外。

8.罗茨振空泵工作产生的振动对工艺和环境有影响吗？如果工艺不允许，应选择无振动泵或采取防振措施。

9.罗茨振空泵的价格、运行维护费用等。

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